|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br169139 |
| 005 |
20211110171135.5 |
| 100 |
# |
# |
$a 19980602d1998 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Планаризация диэлектрика и повышение термостабильности алюминия при создании интегральных схем
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e 01.04.10
$f БГУ
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1998
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 11-13 (18 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33558
$a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33559
$a ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.002:621.785(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.21.15
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-310685
$a Пономарь
$b В. Н.
$g Владимир Николаевич
$c кандидат физико-математических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19980602
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad28529.pdf
|
