Радиационное дефектообразование в кремнии при двойной ионной имплантации: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / БГУ

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад1081,
Вид документа: Диссертации
Автор: Попок, В. Н. (род. 1966)
Опубликовано: Мн. , 1995
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br167596
005 20171128115030.0
100 # # $a 19971209d1995 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y m 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Радиационное дефектообразование в кремнии при двойной ионной имплантации  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $f БГУ 
210 # # $a Мн.  $d 1995 
300 # # $a Библиогр.: л. 111-119 (155 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
610 0 # $a радиационное дефектообразование 
610 0 # $a радыяцыйнае дэфектаўтварэнне 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 537.311.322:539.1.04(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-315657  $a Попок  $b В. Н.  $g Владимир Николаевич  $c кандидат физико-математических наук  $f род. 1966 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19971209  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26Ad1081.pdf