Разработка технологии формирования тонкопленочных микроструктур из высокотемпературных сверхпроводников методом обратной литографии: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад824,
Вид документа: Диссертации
Автор: Жданович, С. В.
Опубликовано: Мн. , 1995
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br167294
005 20240116103841.0
100 # # $a 19971110d1995 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Разработка технологии формирования тонкопленочных микроструктур из высокотемпературных сверхпроводников методом обратной литографии  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники 
210 # # $a Мн.  $d 1995 
300 # # $a Библиогр.: л. 168-180 (206 назв.) Для служеб. пользования. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6576  $a ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ СВЕРХПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
610 0 # $a взрывная литография 
610 0 # $a выбуховая літаграфія 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-405213  $a Жданович  $b С. В.  $g Сергей Вячеславович  $c кандидат технических наук, электроника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19971110  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26ad824.pdf