Закономерности формирования, влагосорбционные и оптические свойства оксидных пленок, полученных из тетраэтоксисилана: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад505,
Вид документа: Диссертации
Автор: Бачило, Е. Э.
Опубликовано: Мн. , 1997
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br166890
005 20161202153523.0
100 # # $a 19971023d1997 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Закономерности формирования, влагосорбционные и оптические свойства оксидных пленок, полученных из тетраэтоксисилана  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $f Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники 
210 # # $a Мн.  $d 1997 
300 # # $a Библиогр.: л. 136-143 (118 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11345  $a ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11346  $a ДАТЧЫКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21873  $a ОПТОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21874  $a ОПТАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33559  $a ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6558  $a ПОЛИМЕРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6559  $a ПАЛІМЕРЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002.3:539.2(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
686 # # $a 29.19  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.63  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-438699  $a Бачило  $b Е. Э.  $g Елена Эдвардовна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19971023  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br166890&fileID=322451