Фазоструктурные переходы в слоях кремния при импульсной лазерной перекристаллизации: Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / АН Беларуси, Ин-т физики им. Б.И.Степанова

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад320,
Вид документа: Диссертации
Автор: Татур, Г. А.
Опубликовано: Мн. , 1997
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004id4500
001 BY-NLB-br166646
005 20170517161945.0
100 # # $a 19971014d1997 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 000yy 
106 # # $a h 
109 # # $a aa  $a ab 
200 1 # $a Фазоструктурные переходы в слоях кремния при импульсной лазерной перекристаллизации  $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 05.27.01  $f АН Беларуси, Ин-т физики им. Б.И.Степанова 
210 # # $a Мн.  $d 1997 
300 # # $a Библиогр.: л. 119-128 (116 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15689  $a ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23635  $a ПЛАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15690  $a ЛАЗЕРНАЕ ВЫПРАМЕНЬВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23636  $a ПЛАЎЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5290502  $a ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1.002:621.373.826(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.35.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-441122  $a Татур  $b Г. А.  $g Геннадий Анатольевич  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19971014  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26ad320.pdf