|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br164495 |
| 005 |
20070615190616.8 |
| 100 |
# |
# |
$a 19970605d1993 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Автоматизация синтеза проектных решений при создании технологического оборудования микроэлектроники
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.07 ; 05.13.12
$f Моск. гос. ин-т электрон. техники
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 23-24 (9 назв.) Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.14.07
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.51
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.07
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.12
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-439380
$a Фролова
$b Г. В.
$g Галина Владимировна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19970605
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
