Исследование структурных свойств приповерхностного слоя кремния имплантированного высокими дозами углерода: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Нац. АН Респ. Казахстан, Ин-т физики высоких энергий
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бейсенханов, Н. Б. |
| Опубликовано: | Алматы , 1994 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||