Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производсте ИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Моск. гос. акад. тон. хим. технологии им. М.В.Ломоносова
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Трубин, И. С. |
| Publié: | М. , 1994 |
| Description matérielle: |
22 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||