Количественные измерения локальных электрофизических свойств полупроводников в растровом электронном микроскопе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Рос. АН, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад24037,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Конончук, О. В.
Опубликовано: Черноголовка , 1994
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br162891
005 20070615190601.7
100 # # $a 19930101d1994 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Количественные измерения локальных электрофизических свойств полупроводников в растровом электронном микроскопе  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 05.27.01  $f Рос. АН, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов 
210 # # $a Черноголовка  $d 1994 
215 # # $a 17 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 16-17 (14 назв.) 
686 # # $a 47.33.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-436993  $a Конончук  $b О. В.  $g Олег Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo