|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br162009 |
| 005 |
20070615190557.1 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1994 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 05.13.07 ; 05.27.07
$f Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э.Баумана
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1994
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 26-30 (36 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.47.02
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.07
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-436307
$a Попов
$b Г. В.
$g Геннадий Васильевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
