Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.11.07 / С.-Петерб. гос. ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сунь, Ч. |
| Опубликовано: | СПб. , 1994 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||