Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.11.07 / С.-Петерб. гос. ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сунь, Ч. |
| Опубликовано: | СПб. , 1994 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000004ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br160825 | ||
| 005 | 20070615190542.9 | ||
| 100 | # | # | $a 19930101d1994 u y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 105 | # | # | $a y m 001yy |
| 109 | # | # | $a aa $a ac |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование автоматизированных оптико-электронных методов контроля качества заготовок микросхем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e 05.11.07 $f С.-Петерб. гос. ин-т точ. механики и оптики |
| 210 | # | # | $a СПб. $d 1994 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 686 | # | # | $a 59.14.23 $2 rugasnti |
| 686 | # | # | $a 59.41 $2 rugasnti |
| 686 | # | # | $a 05.11.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $3 BY-SEK-434114 $a Сунь $b Ч. $g Чанку |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 19930101 $g psbo |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20060316 $g psbo |