Исследование субмикронных рельефных прямоугольных структур методом растровой электронной микроскопии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Рос. АН, Ин-т общей физики

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад17421,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Стрижков, И. Б.
Опубликовано: М. , 1994
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br156139
005 20121222102521.0
100 # # $a 19930101d1994 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование субмикронных рельефных прямоугольных структур методом растровой электронной микроскопии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $f Рос. АН, Ин-т общей физики 
210 # # $a М.  $d 1994 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 21-23 (16 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3334434  $a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5556225  $a РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
610 0 # $a рельефные структуры 
610 0 # $a рэльефныя структуры 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-427338  $a Стрижков  $b И. Б.  $g Илья Борисович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo