|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br1553859 |
| 005 |
20220412165201.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20060920d2006 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Основы управления топологической точностью микролитографии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e 05.27.06
$f Цветков Юрий Борисович
$g [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 29-32 (49 назв.)
|
| 300 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34220
$a ТОПОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34338
$a ТОЧНОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34221
$a ТАПАЛОГІЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34339
$a ДАКЛАДНАСЦЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-132258
$a Цветков
$b Ю. Б.
$g Юрий Борисович
$c доктор технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060920
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061210
$g psbo
|
