Влияние неоднородности толщины диэлектрика на свойства туннельных МОП структур Al/(1-4 нм)SiO2/Si: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Тягинов Станислав Эдуардович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад172881,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Тягинов, С. Э.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2006
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br1553843
005 20070615185205.8
100 # # $a 20060920d2006 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Влияние неоднородности толщины диэлектрика на свойства туннельных МОП структур Al/(1-4 нм)SiO2/Si  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Тягинов Станислав Эдуардович  $g Российская академия наук, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2006 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a Библиография: с. 18 (7 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24596  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9575  $a ДИЭЛЕКТРИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82122  $a ТУННЕЛЬНЫЙ ЭФФЕКТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15100  $a ДИОКСИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21601  $a ОКСИДНЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24597  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9576  $a ДЫЭЛЕКТРЫКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82123  $a ТУНЭЛЬНЫ ЭФЕКТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15101  $a ДЫАКСІД КРЭМНІЮ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21602  $a АКСІДНЫЯ СІСТЭМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-700004  $a Тягинов  $b С. Э.  $g Станислав Эдуардович  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060920  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061210  $g psbo