|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
001 |
BY-NLB-br1553843 |
005 |
20070615185205.8 |
100 |
# |
# |
$a 20060920d2006 u y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
200 |
1 |
# |
$a Влияние неоднородности толщины диэлектрика на свойства туннельных МОП структур Al/(1-4 нм)SiO2/Si
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.10
$f Тягинов Станислав Эдуардович
$g Российская академия наук, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе
|
210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2006
|
215 |
# |
# |
$a 18 с.
|
300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 18 (7 назв.).
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24596
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9575
$a ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar82122
$a ТУННЕЛЬНЫЙ ЭФФЕКТ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15100
$a ДИОКСИД КРЕМНИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21601
$a ОКСИДНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24597
$a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9576
$a ДЫЭЛЕКТРЫКІ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar82123
$a ТУНЭЛЬНЫ ЭФЕКТ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15101
$a ДЫАКСІД КРЭМНІЮ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar21602
$a АКСІДНЫЯ СІСТЭМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.33
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-700004
$a Тягинов
$b С. Э.
$g Станислав Эдуардович
$c кандидат физико-математических наук
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060920
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061210
$g psbo
|