Морфологические особенности зарождения пор в процессе формирования макропористого кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Гаврилин Евгений Юрьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад171719,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гаврилин, Е. Ю.
Опубликовано: Черноголовка , 2006
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br1553441
005 20220412164653.0
100 # # $a 20060918d2006 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Морфологические особенности зарождения пор в процессе формирования макропористого кремния  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 05.27.01  $f Гаврилин Евгений Юрьевич  $g Российская академия наук, Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов 
210 # # $a Черноголовка  $d 2006 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиография: с. 22-24. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24602  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24726  $a ПОРИСТЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82989  $a ФОТОННЫЕ КРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28578  $a РОСТ КРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24603  $a ПАЎПРАВАДНІКОВАЯ ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24727  $a ПОРЫСТЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82990  $a ФАТОННЫЯ КРЫШТАЛІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28579  $a РОСТ КРЫШТАЛЁЎ  $2 DVNLB 
686 # # $a 53.41.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.04  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-700937  $a Гаврилин  $b Е. Ю.  $g Евгений Юрьевич  $c кандидат технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060918  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061210  $g psbo