Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Терашкевич Игорь Макарович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Терашкевич, И. М. |
| Wydane: | Москва , 2006 |
| Opis fizyczny: |
25 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||