|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br1551482 |
| 005 |
20220412164805.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20060807d2006 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Терашкевич Игорь Макарович
$g [ЗАО "НИИ материаловедения"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 25 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 24-25 (15 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32976
$a ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30292
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38994
$a ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381802
$a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381804
$a ХИМИЧЕСКАЯ ОЧИСТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar32977
$a ЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar30293
$a МІКРАЭЛЕКТРОННЫЯ СІСТЭМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38995
$a ЭЛЕКТРАМЕХАНІЧНЫЯ СІСТЭМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121097
$a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381803
$a КРЭМНІЕВЫЯ ПЛАСЦІНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381805
$a ХІМІЧНАЯ АЧЫСТКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381864
$a МІКРАЭЛЕКТРАМЕХАНІЧНЫЯ СІСТЭМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-696789
$a Терашкевич
$b И. М.
$g Игорь Макарович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060807
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061210
$g psbo
|
