Исследование реактивного ионного травления как метода создания элементов оптоэлектронных устройств: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Рос. АН, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф.Иоффе
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Дулькин, А. Е. |
| Publié: | СПб. , 1993 |
| Description matérielle: |
18 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||