Формирование и релаксация напряженно-деформированного состояния кремния при изготовлении изделий электронной техники: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.физ.-мат.наук: 01.04.07 / Бел.гос.ун-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сологуб, Л. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1994 |
| Физические характеристики: |
20с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||