Термостабильные пленочные элементы полупроводниковых структур на основе некоторых переходных металлов и их оксидов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, микроэлектроника / Дереченник Станислав Станиславович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад3332, 2Н//179368(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Дереченник, С. С.
Опубликовано: Минск , 1994
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
ПЕРЕХОДНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br142086
005 20220414175348.0
100 # # $a 19930101d1994 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Термостабильные пленочные элементы полупроводниковых структур на основе некоторых переходных металлов и их оксидов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, микроэлектроника  $f Дереченник Станислав Станиславович  $g Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники 
210 # # $a Минск  $d 1994 
215 # # $a 22 с. 
320 # # $a Библиография: с. 20—22 (14 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10861  $a ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1657703  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23292  $a ПЕРЕХОДНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23928  $a ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2448302  $a ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2644768  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4914454  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382-027.3:621.793(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-279798  $a Дереченник  $b С. С.  $g Станислав Станиславович  $c кандидат технических наук  $c старший 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br142086&fileID=404281 

Схожие документы