Численное моделирование процессов в корпускулярно-оптических системах и реакторных камерах оборудования для модификации поверхностных свойств материалов.: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра физ.-мат.наук:(05.27.02) / Рос.АН,Сиб.отд-ние,Ин-т сильноточн.электроники

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад2218,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Стекольников, А. Ф. (род. 1952)
Опубликовано: Томск , 1993
Физические характеристики: 35с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br141329
005 20220415121128.0
100 # # $a 19930101d1993 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a y m 001yy 
109 # # $a ac 
200 1 # $a Численное моделирование процессов в корпускулярно-оптических системах и реакторных камерах оборудования для модификации поверхностных свойств материалов.  $e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.д-ра физ.-мат.наук:(05.27.02)  $f Рос.АН,Сиб.отд-ние,Ин-т сильноточн.электроники 
210 # # $a Томск  $d 1993 
215 # # $a 35с. 
300 # # $a Библиогр.:с.29-35(51 назв.)Для служ.пользования.Экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38786  $a ЭКСТРАКЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38787  $a ЭКСТРАКЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1657703  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1799074  $a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.01:533.9.01  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.03.05  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.02  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-388923  $a Стекольников  $b А. Ф.  $g Александр Федорович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1952 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br141329&fileID=382903