Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка.: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков / Оскар Хосе Араика Ривера

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад1095, 2Ад1663,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Араика Ривера, О. Х.
Опубликовано: Минск , 1993
Физические характеристики: 14 с.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЕ
РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
КРЕМНИЙ
СУРЬМА
МЫШЬЯК
ЛЕГИРОВАНИЕ
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИЯ
ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ АКТИВНОСТЬ
ОТЖИГ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br140952
005 20200902083850.0
100 # # $a 19930101d1993 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка.  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.10 Физика полупроводников и диэлектриков  $f Оскар Хосе Араика Ривера  $g Белорусский государственный университет 
210 # # $a Минск  $d 1993 
215 # # $a 14 с. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4348477  $a ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26909  $a РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32598  $a СУРЬМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19340  $a МЫШЬЯК  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15827  $a ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27941  $a РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38846  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ АКТИВНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 537.311.322(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 537.5(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.23  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-389836  $a Араика Ривера  $b О. Х.  $g Оскар Хосе  $c кандидат физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar167094  $a Белорусский государственный университет  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad1095.pdf 

Схожие документы