Электронно-дифракционный анализ структуры ближнего порядка в ионно-имплантированных слоях кремния и бора: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика твердого тела / Тишков Владимир Станиславович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад839, 2Ад840,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Тишков, В. С.
Опубликовано: Минск , 1993
Физические характеристики: 16 с., включая обложку
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
НИТРИД КРЕМНИЯ
НИТРИД БОРА
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
БЛИЖНИЙ ПОРЯДОК
ДИФРАКЦИОННЫЙ АНАЛИЗ
ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br140571
005 20181204070948.0
100 # # $a 19930101d1993 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Электронно-дифракционный анализ структуры ближнего порядка в ионно-имплантированных слоях кремния и бора  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 01.04.07 Физика твердого тела  $f Тишков Владимир Станиславович  $g Белорусский государственный университет, НИИ прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко 
210 # # $a Минск  $d 1993 
215 # # $a 16 с., включая обложку 
320 # # $a Библиография: с. 13―16 (31 назв.) и в подстрочных примечаниях 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1776189  $a БЛИЖНИЙ ПОРЯДОК  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20812  $a НИТРИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4407  $a НИТРИД БОРА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5147319  $a ДИФРАКЦИОННЫЙ АНАЛИЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5236579  $a ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6649952  $a ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 537.311.32:548.74(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.216.2(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.27(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.07  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 29.19.04  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.25  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-386984  $a Тишков  $b В. С.  $g Владимир Станиславович  $c кандидат физико-математических наук 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar2446913  $a Институт прикладных физических проблем имени А. Н. Севченко  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br140571&fileID=362074 

Схожие документы