Оптические методы диагностики ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Акулич, Е. С. |
| Wydane: | Мн. : Ин-т математики , 1999 |
| Opis fizyczny: |
20 с.
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Препринт
N 3(552) |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||