Оптические методы диагностики ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Акулич, Е. С. |
| Publié: | Мн. : Ин-т математики , 1999 |
| Description matérielle: |
20 с.
|
| Langue: | Русский |
| Collection: |
Препринт
N 3(552) |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||