Оптические методы диагностики ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Акулич, Е. С. |
| Publicado: | Мн. : Ин-т математики , 1999 |
| Descripción Física: |
20 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Colección: |
Препринт
N 3(552) |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||