Оптические методы диагностики ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Акулич, Е. С. |
| Veröffentlicht: | Мн. : Ин-т математики , 1999 |
| Beschreibung: |
20 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schriftenreihe: |
Препринт
N 3(552) |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||