Оптические методы диагностики ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Акулич, Е. С. |
| Апублікавана: | Мн. : Ин-т математики , 1999 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
20 с.
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Препринт
N 3(552) |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||