Оптические методы диагностики ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Акулич, Е. С. |
| 出版: | Мн. : Ин-т математики , 1999 |
| 實物描述: |
20 с.
|
| 語言: | Русский |
| 叢編: |
Препринт
N 3(552) |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | 可用 預訂 | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||