Оптические методы диагностики ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ба179447К, 1Ба179448К,
Вид документа: Книги
Автор: Акулич, Е. С.
Опубликовано: Мн. : Ин-т математики , 1999
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Серия: Препринт N 3(552)
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br133343
005 20160127145534.0
010 # # $d Б.ц. 
100 # # $a 19991019d1999 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Оптические методы диагностики ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур 
210 # # $a Мн.  $c Ин-т математики  $d 1999 
215 # # $a 20 с. 
225 1 # $a Препринт  $f Нац. акад. наук Беларуси, Ин-т математики  $v N 3(552) 
300 # # $a Библиогр.: с. 18-20 (16 назв.). 
345 # # $9 35 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21841  $a ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12168  $a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21842  $a АПТЫЧНЫЯ МЕТАДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12163  $a ІОННА-ПРАМЯНЁВАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12169  $a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33782  $a ТЕХНИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 539.216.2  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.29.01  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-327165  $a Акулич  $b Е. С.  $g Елена Станиславовна  $c прикладная оптика 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19991019  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo