Deep ion implantation: Advantages and current problems
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Slowinski, B. |
Опубликовано: | Dubna : The Joint Inst. for Nuclear Research , 1998 |
Физические характеристики: |
4 p.
|
Язык: | Английский |
Серия: |
Prepr.
E14-98-379 ) |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|