Deep ion implantation: Advantages and current problems

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок168675(ДХ),
Вид документа: Книги
Автор: Slowinski, B.
Опубликовано: Dubna : The Joint Inst. for Nuclear Research , 1998
Физические характеристики: 4 p.
Язык: Английский
Серия: Prepr. E14-98-379 )
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br124326
005 20110930140134.0
100 # # $a 19990604d1998 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a eng 
102 # # $a ru 
105 # # $a y 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Deep ion implantation  $e Advantages and current problems 
210 # # $a Dubna  $c The Joint Inst. for Nuclear Research  $d 1998 
215 # # $a 4 p. 
225 1 # $a Prepr.  $f The Joint Inst. for Nuclear Research  $v E14-98-379 ) 
300 # # $a Ref. : p. 4.-- Загл. ориг. : Глубокая ионная имплантация: Преимущества и актуальная проблематика 
345 # # $9 300 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35841  $a ФИЗИКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСТИЦ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35849  $a ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar40021  $a ЯДЕРНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35850  $a ФІЗІКА ЦВЁРДАГА ЦЕЛА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34954  $a ЦЯЖКІЯ ІОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34953  $a ТЯЖЕЛЫЕ ИОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35842  $a ФІЗІКА ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСЦІЦ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar40003  $a ЯДЕРНО-ФИЗИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar40004  $a ЯДЗЕРНА-ФІЗІЧНЫЯ МЕТАДЫ  $2 DVNLB 
675 # # $a 539.121.7:539.21  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.01  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.05.01  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-201490  $a Slowinski  $b B. 
711 0 2 $3 BY-NLB-ar173842  $a Объединенный институт ядерных исследований  $e Дубна, Московская область 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19990604  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo