Тонкие пленки в электронике: Материалы V Междунар. науч.-техн. конф., [15-19 авг. 1998 г., г. Йошкар-Ола] / Отв. науч. ред. А.Ф.Белянин

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок148125,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. Йошкар-Ола : Мар. политехн. ин-т , 1994
Физические характеристики: 125 с.
Язык: Русский
Предмет:
ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
ЭЛЕКТРОННЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
АСАДЖЭННЕ
РАСПЫЛЕННЕ
ЭЛЕКТРОНИКА
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
ОСАЖДЕНИЕ
РАСПЫЛЕНИЕ
ЭЛЕКТРОНІКА
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br119526
005 20070615163129.1
010 # # $a 5-230-00386-3  $d Б.ц. 
020 # # $a ru  $b 94-21434 
100 # # $a 19981118d1994 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a 100yy 
109 # # $a oa 
200 1 # $a Тонкие пленки в электронике  $e Материалы V Междунар. науч.-техн. конф., [15-19 авг. 1998 г., г. Йошкар-Ола]  $f Отв. науч. ред. А.Ф.Белянин 
210 # # $a М.  $a Йошкар-Ола  $c Мар. политехн. ин-т  $d 1994 
215 # # $a 125 с. 
300 # # $a В надзаг.: Ком Рос. Федерации по оборон. отраслям пром-сти, Гл. упр. пром-сти средств связи, Центр. науч.-исслед. технол. ин-т, Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Мар. политехн. ин-т им. А.М.Горького, Учеб.-науч.-произв. центр "Поиск", Рос. акад. наук, Ин-т физ. химии, Акад. технол. наук Рос. Федерации, Проблем. Совет "Высокие технологии машиностроения и электрон. приборостроения", Сектор "Высокие технологии в обл. тонких пленок в электронике", АО "Дигазкрон" 
300 # # $a Библиогр. в конце докл. 
345 # # $9 300 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17343  $a ЭЛЕКТРОННЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22115  $a АСАДЖЭННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27460  $a РАСПЫЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39074  $a ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22114  $a ОСАЖДЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27459  $a РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39075  $a ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.38.002.3(063)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 539.216.2(063)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.01.13  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.01.13  $2 rugasnti 
702 # 1 $3 BY-SEK-334349  $a Белянин  $b А. Ф. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981118  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo 

Схожие документы