Литография в производстве интегральных микросхем: учебное пособие для профессионально-технических училищ профессии электронной техники / Ю. А. Родионов

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ба148684, 1Ба148685, 1Ба158639,
Вид документа: Книги
Автор: Родионов, Ю. А.
Опубликовано: Минск : Дизайн ПРО , 1998
Физические характеристики: 95, [1] с. : ил., табл. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br114793
005 20230420132444.0
010 # # $a 985-6182-64-6 
100 # # $a 19981117d1998 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Литография в производстве интегральных микросхем  $e учебное пособие для профессионально-технических училищ профессии электронной техники  $f Ю. А. Родионов 
210 # # $a Минск  $c Дизайн ПРО  $d 1998 
215 # # $a 95, [1] с.  $c ил., табл.  $d 21 см 
304 # # $a На обложке автор не указан 
345 # # $9 1000 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2408340  $a МИКРОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286657  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ УЧРЕЖДЕНИЙ НАЧАЛЬНОГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002:763(075.32)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.01.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-119444  $a Родионов  $b Ю. А.  $g Юрий Анатольевич  $c кандидат технических наук, микроэлектроника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19981117  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060315  $g psbo