|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br108272 |
| 005 |
20070615161713.3 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-7256-0014-9
$d Б.ц.
|
| 020 |
# |
# |
$a ru
$b 94-3333
|
| 100 |
# |
# |
$a 19981106d1994 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Элементная база микро- и наноэлектроники: физика и технология
$e Межвуз. сб.
$f Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
$g Под ред. Ю.А.Чаплыгина
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МГИЭТ
$d 1994
|
| 215 |
# |
# |
$a 179 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр. в конце ст.
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35931
$a ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9575
$a ДИЭЛЕКТРИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45118
$a НАНАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33871
$a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9576
$a ДЫЭЛЕКТРЫКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35932
$a ФІЗІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24595
$a ПАЎПРАВАДНІКІ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.01:53
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-697453
$a Чаплыгин
$b Ю. А.
$g Юрий Александрович
$c доктор технических наук
$f род. 1951
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981106
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
