Разработка аппаратуры и методов ионно-пучкового травления для получения высокоточных элементов рентгеновской оптики: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.2
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Михайленко, М. С. |
| Опубликовано: | Нижний Новгород , 2024 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |