Конструктивно-технологические основы создания актюаторов для МЭМС-переключателей и микрофлюидных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Уваров Илья Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Уваров, И. В. |
| Опубликовано: | Ярославль , 2024 |
| Физические характеристики: |
40 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |