Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния / Козлов Андрей Андреевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Козлов, А. А. |
| Published: | Пермь , 2024 |
| Physical Description: |
23 с., включая обложку : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||