Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния / Козлов Андрей Андреевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Козлов, А. А. |
| Апублікавана: | Пермь , 2024 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
23 с., включая обложку : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||