Моделирование и исследование характеристик кремниевых чувствительных элементов микромеханических акселерометров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Йе Ко Ко Аунг
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Йе Ко Ко Аунг |
Опубликовано: | Москва , 2024 |
Физические характеристики: |
24 с. : цв. ил., табл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|