|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001927816 |
| 005 |
20240905095543.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20240712d2024 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование и исследование характеристик кремниевых чувствительных элементов микромеханических акселерометров
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств
$f Йе Ко Ко Аунг
$g [место защиты: Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2024
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c цв. ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22―24
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1913019
$a МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2420611
$a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar65747
$a ВНЕШНИЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13045263
$a УСТОЙЧИВОСТЬ (механика)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3321655
$a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.31.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 59.14.15
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 2.2.2
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
0 |
$3 BY-SEK-ar14770205
$a Йе Ко Ко Аунг
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20240712
$g RCR
|
