Лабораторные методы тонкой очистки газов, применяемые в полупроводниковой технике / Ю. В. Грановский
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Грановский, Ю. В. (род. 1933) |
| Опубликовано: | Москва : [Отдел научно-технической информации] , 1960 |
| Физические характеристики: |
74 с. : ил., табл. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Информация
1 (12) |
| Предмет: |
Загрузка