Лабораторные методы тонкой очистки газов, применяемые в полупроводниковой технике / Ю. В. Грановский

Сохранено в:
Шифр документа: 59966-1,
Вид документа: Продолжающиеся издания
Автор: Грановский, Ю. В. (род. 1933)
Опубликовано: Москва : [Отдел научно-технической информации] , 1960
Физические характеристики: 74 с. : ил., табл. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Информация 1 (12)
Предмет:
00000cam2a22000003ij4500
001 BY-NLB-br0001924637
005 20240705093809.0
021 # # $a RU  $b [60-24124ж] 
100 # # $a 20240625d1960 |||y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a|||||||000yy 
200 1 # $a Лабораторные методы тонкой очистки газов, применяемые в полупроводниковой технике  $f Ю. В. Грановский 
210 # # $a Москва  $c [Отдел научно-технической информации]  $d 1960 
215 # # $a 74 с.  $c ил., табл.  $d 21 см 
225 2 # $a Информация  $f Главниипроект при Госплане СССР, Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет"  $v 1 (12) 
320 # # $a Библиография: с. 60―68 
345 # # $9 500 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br0000827321  $1 2001   $v 1960, № 1 (12) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar73924  $a ГАЗООЧИСТКА  $2 DVNLB 
700 # 1 $3 BY-CNB-a325255  $a Грановский  $b Ю. В.  $g Юрий Васильевич  $c кандидат химических наук  $f род. 1933 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar3274183  $a Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности  $c Москва 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20240625  $g RCR