Исследование влияние контактирующих слоев на свойства тонкопленочных структур на основе соединений Ge2Sb2Te5 для устройств фазовой памяти: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники / Якубов Алексей Олегович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Якубов, А. О. |
| Published: | Москва , 2024 |
| Physical Description: |
22 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||