Структурные и электрофизические свойства пленок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния / Герасимова Алина Константиновна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//256222(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Герасимова, А. К.
Опубликовано: Новосибирск , 2023
Физические характеристики: 26 с. : цв. ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ
ГАФНИЙ
ЦИРКОНИЙ
ТАНТАЛ
ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ
ХИМИЧЕСКОЕ СТРОЕНИЕ
ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
СИНТЕЗ (хим.)
ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
РАСПЫЛЕНИЕ
РЕЗИСТИВНО-ЕМКОСТНАЯ СВЯЗЬ
ПАРЦИАЛЬНОЕ ДАВЛЕНИЕ
РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ
КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ
ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ
ПРОСВЕЧИВАЮЩАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001887092
005 20240318121501.0
100 # # $a 20240111d2023 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Структурные и электрофизические свойства пленок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния  $f Герасимова Алина Константиновна  $g [место защиты: Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук] 
210 # # $a Новосибирск  $d 2023 
215 # # $a 26 с.  $c цв. ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 23—26 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5240096  $a НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2448302  $a ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6976  $a ГАФНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37507  $a ЦИРКОНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32908  $a ТАНТАЛ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36797  $a ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar63456  $a ХИМИЧЕСКОЕ СТРОЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21821  $a ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38854  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2445715  $a СИНТЕЗ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27459  $a РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1923264  $a РЕЗИСТИВНО-ЕМКОСТНАЯ СВЯЗЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2408403  $a ПАРЦИАЛЬНОЕ ДАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5556225  $a РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15212  $a КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39194  $a ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381014  $a ПРОСВЕЧИВАЮЩАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 1.3.8  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.24  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14625041  $a Герасимова  $b А. К.  $g Алина Константиновна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20240111  $g RCR 

Схожие документы