Физико-технологические основы термомиграционного легирования микрообластей в объеме кремния акцепторными примесями: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники / Заиченко Александр Николаевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Заиченко, А. Н. |
| Опубликовано: | Таганрог , 2023 |
| Физические характеристики: |
23 с., включая обложку : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||