|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001883056 |
| 005 |
20240219084922.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20231222d2023 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-технологические основы термомиграционного легирования микрообластей в объеме кремния акцепторными примесями
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники
$f Заиченко Александр Николаевич
$g [место защиты: Южный федеральный университет (ЮФУ)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Таганрог
$d 2023
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с., включая обложку
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39074
$a ЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24620
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15827
$a ЛЕГИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar78295
$a АКЦЕПТОРНЫЕ ПРИМЕСИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35933
$a ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 2.2.3
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14603214
$a Заиченко
$b А. Н.
$g Александр Николаевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20231222
$g RCR
|
