Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Соколов Сергей Иванович

Сохранено в:
Шифр документа: 26Н//8652(039),
Вид документа: Диссертации
Автор: Соколов, С. И.
Опубликовано: Минск , 2023
Физические характеристики: 133 л. : табл., ил.
Язык: Русский
Предмет:
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
ФОТОШАБЛОНЫ
ПОДЛОЖКИ (электроника)
КВАРЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО
ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ
ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Е-документ: E-документ
00000cbm0a2200000 id4500
001 BY-NLB-br0001876437
005 20231213195055.0
100 # # $a 20231123h20232023k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ab  $a aa 
200 1 # $a Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем  $e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Соколов Сергей Иванович  $g научные руководители: Емельянов Виктор Андреевич, Шершнёв Евгений Борисович 
210 # # $a Минск  $d 2023 
215 # # $a 133 л.  $c табл., ил. 
320 # # $a Библиография: л. 118—129 
328 # 0 $d Защищена 18.05.2023, утверждена 06.09.2023 
488 # 0 $1 001BY-NLB-br0001833264 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1657703  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3334434  $a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85262  $a ФОТОШАБЛОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1606506  $a КВАРЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17342  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13238  $a КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3364070  $a ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15677  $a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3290293  $a ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85368  $a ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.38-027.3:621.9.048.7(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.38-03:621.315.612.6:621.9.048.7(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.41  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar9238365  $a Соколов  $b С. И.  $g Сергей Иванович  $c кандидат технических наук 
702 # 1 $3 BY-NLB-ar2502537  $a Емельянов  $b В. А.  $g Виктор Андреевич  $c доктор технических наук  $f род. 1948  $4 727 
702 # 1 $3 BY-SEK-125258  $a Шершнев  $b Е. Б.  $g Евгений Борисович  $c кандидат технических наук, физик  $f род. 1960  $4 727 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar4712261  $a Гомельский государственный университет  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20231123  $g RCR 
856 4 # $u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/58311/2/default.html 

Схожие документы