Исследование и разработка матричных пьезоэлектрических микроэлектромеханических ультразвуковых сенсоров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств / Малохатко Софья Владимировна

Сохранено в:
Шифр документа: 2//254868(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Малохатко, С. В.
Опубликовано: Таганрог , 2023
Физические характеристики: 24 с., включая обложку : ил., табл.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001870805
005 20240104162443.0
100 # # $a 20231026d2023 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка матричных пьезоэлектрических микроэлектромеханических ультразвуковых сенсоров  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств  $f Малохатко Софья Владимировна  $g [место защиты: Южный федеральный университет] 
210 # # $a Таганрог  $d 2023 
215 # # $a 24 с., включая обложку  $c ил., табл. 
320 # # $a Библиография: с. 23—24 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17594  $a МЕДИЦИНСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29804  $a СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4206592  $a УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1992514  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26751  $a ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3321655  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33866  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 76.13.99  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 2.2.2  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14552655  $a Малохатко  $b С. В.  $g Софья Владимировна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20231026  $g RCR